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RTPアニーリングファーネスは、1200度まで加熱する赤外線ハロゲンチューブを備えた12インチの基板の処理に使用できます。
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Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd.
7 yrs
CN
ホバーでズームイン
キー属性
中核事業の明細
保証
1年
その他の属性
原産地
Henan, China
分類
研究所加熱機器
カスタマイズされたサポート
Oem, Odm
銘柄
TN
モデル番号
TN-RTP1000-Diam300-T
サイズ
890*950*1400mm
材料
SS
重さ
200 KG
電圧
380 V
商品名
RTPアニーリング炉
キーワード
半導体、アニーリング
アプリケーション
急速な熱処理
基板サイズ
12インチ
基板ベース
石英針 (SiCコーティングされたグラファイトベースはオプション)
温度範囲
150-1200 ℃
暖房料金
カスタマイズ可能
チャンバー素材
セラミック繊维の部屋
温度再現性
± 3 ℃
真空度
5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr
包装と配送
販売単位:
単一品目
単一のパッケージサイズ:
89X95X140 cm
単一の総重量:
150.000 kg
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リードタイム
数量 (セット)
1 - 2
> 2
推定時間(日)
60
交渉による
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1 - 1 セット
$27,500.00
>= 2 セット
$26,500.00
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