モデル番号
CMF200M419N2BZEZZZMCREHTWPCV
マスフロー精度 (液体)
レートの ± 0.10% (標準) ± 0.05% (オプション)
マスフローの再現性 (液体)
レートの ± 0.05% (標準) ± 0.025% (オプション)
ボリュームフロー精度 (液体)
レートの ± 0.10% (標準) ± 0.05% (オプション)
ボリュームフローの再現性 (液体)
レートの ± 0.05% (標準) ± 0.025% (オプション)
マスフローの再現性 (ガス)
レートの ± 0.20%
センサーの最高の働き圧力
1,580 psig (109 barg)