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寸法:
1,300mm (l) X 1,000mm (w) X1、600 mm (h)
基板サイズ (max.) 1:
250 mm (X) X 400 mm (Y) (3段モード)
基板サイズ (max.) 2:
400 mm (X) X 400 mm (Y) (単段モード)
基板サイズ (max.)3:
400mm (X)X 400mm (Y) (オプションのトランスポートエクステンション付き3ステージ)
基板サイズ (min.):
50 mm (X)X 40.5mm (Y)
