マシンタイプ
ARガラスコーティングインラインスパッタリングシステム
機器名
反射防止ガラスマグネトロンスパッタリングインラインコーティングシステム
サイズ
顧客の望ましい容量およびsubstratesのサイズに従って
アプリケーション
ミラー作成、ITO導電性ガラス、Low-Eガラス作成 (スパッタリング)
働く部屋の材料
炭素鋼またはステンレス鋼にすることができます
カソード
フラットまたは円筒形のスパッタリングカソードでカスタマイズ可能
働く部屋の漏出率
漏出率が0.5 P/h未満の精密に作られた働く部屋